電子產(chǎn)業(yè)一直被視為清潔生產(chǎn)的典范，但實際情況并非如此。該行業(yè)使用的化學物質(zhì)雖數(shù)量少，但品種繁多（60多種），其中許多都是易揮發(fā)物，其本身或次生的二次氣體中化學毒性強的物質(zhì)不少，隨著對環(huán)保健康問題關注程度的增強，主要發(fā)達國家已相繼立法，對電子產(chǎn)業(yè)廢氣實行限期治理。
干式排氣處理方式被認為對電子行業(yè)是**可靠的處理技術，常采用成型顆?；蚱扑檠b顆粒活性碳品種，且總表面積應盡可能大。一般來說，添加了強堿的活性碳可用來吸附脫除鹵素系氣體：添加銅系和鐵系金屬鹽類或氧化物的活性碳可用于脫除硅烷氣體；添加膦系化合物的活性碳用于脫除氨氣；添加CuO和Cu2O的活性碳可脫除氫氰酸和光氣；加載ZnO和Na2ZnO2的活性碳催化劑可催化脫除砷化氫及氫氰酸、光氣；加載Ag20的活性碳催化劑可催化脫除砷化氫；加載硫酸銅的活性碳可脫除氨氣等。 
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